电子工业用气体的国家标准涵盖了多种关键气体，这些标准旨在确保气体在电子工业中的安全、有效和高效应用。以下是一些主要的电子工业用气体国家标准：

1. 《电子工业用气体硅烷》：此标准对电子工业中使用的硅烷气体进行了详细规定，包括其纯度、杂质含量等重要技术指标。

2. 《电子工业用气体丙烯》：针对丙烯气体在电子工业中的应用，该标准明确了其质量要求和测试方法。

3. 《电子工业用气体三氟甲烷》：此标准对三氟甲烷在电子工业中的使用进行了规范，确保其满足特定的技术要求。

4. 《电子工业用气体六氟乙烷》：六氟乙烷在电子工业中有广泛应用，此标准规定了其质量指标和使用要求。

除了上述提到的气体，还有针对其他电子工业用气体的国家标准，如氧、氮、氨、氢、氩、氦、氯化氢、一氧化碳、氧化亚氮等。每种气体都有其特定的标准，以确保其在电子工业中的安全、稳定和高效应用。

此外，还有一系列与电子气体相关的行业标准，如ISO 857-1: 2019《工业气体--分类、标志和命名第1部分:纯化空气和氧气》等，这些标准也为电子气体的使用和管理提供了指导。

这些国家标准为电子工业用气体的生产、储存、运输和使用提供了明确的规范，有助于保障电子工业的安全生产和高效运行。随着电子工业的不断发展，这些标准也将不断更新和完善，以适应新的需求和挑战。

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