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电子工业中常用的气体检测方法

2024-04-30

在电子工业中,气体检测是确保生产过程安全、产品质量和环境保护的重要环节。以下是一些在电子工业中常用的气体检测方法:


1. 气相色谱法:这是一种广泛适用于无机气体和有机气体分析的方法。气相色谱仪主要由气路系统、进样系统、柱恒温箱、色谱柱、检测器和数据处理系统等组成。通过选择合适的操作条件和操作技术,气相色谱法可以准确可靠地分析标准气体,如硫化物、氮氧化物、氨等。


2. 微量氧分析仪:在高纯气体的分析中,微量氧的含量是一个重要的指标。微量氧分析仪可以准确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧的含量,以确保气体的纯度。


3. 微量水分析仪:微量水分也是评价高纯气体质量的主要指标之一。几乎所有的高纯气体都对水分有严格的要求,因此需要使用微量水分析仪来准确测量和严格控制高纯气体中的水分含量。


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