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什么是电子工业用气体

2023-11-03

电子工业用气体是电子气体,是发展集成电路、光电子、微电子,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料,被称为电子工业的“血液”和“粮食”,它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。在集成电路领域,电子特气应用的种类超过110余种,用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。

电子气体的生产步骤涉及合成、纯化、检测、充装等,在气体纯度(要求5N以上级别)和气体精度(多浓度的气体混配)方面有较高的技术要求,同时具有产品认证周期长,客户粘性大,资质认证严格等特点。


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