特种气体系统五项测试主要包括以下五个方面的测试：

1. 压力测试：压力测试包括正压测试和负压测试。正压测试的压力一般是实际使用气体压力的1.2到1.5倍，测试时间蕞少为24小时。考虑到温度对气体压力的影响，一般压力变化在2PSI之内。负压测试则根据厂务实际提供的真空发生器产生的负压值来决定，一般在-15到-20PSI左右。

2. 氦泄漏检查：氦泄漏检查是利用氦气作为示踪剂，检测特种气体系统中的微小泄漏。通过在系统中注入氦气，然后使用探测器检测周围的氦气浓度，从而判断系统是否存在泄漏。这种方法的灵敏度比正压保压高很多倍，能够检测出非常微小的泄漏率。

3. 颗粒分析：颗粒分析主要是对特种气体系统中的颗粒物进行检测，以保证系统的清洁度。通过采集系统中的气体样本，使用颗粒分析仪器对气体中的颗粒物进行检测和分析，确保颗粒数符合相关标准。

4. 氧含量分析：氧含量分析是为了检测特种气体系统中的氧气含量，以防止氧气过高导致的火灾风险。通过采集系统中的气体样本，使用氧含量分析仪器对气体中的氧气含量进行检测，确保氧气含量在安全范围内。

5. 水含量分析：水含量分析是为了检测特种气体系统中的水分含量，以防止水分导致的管道腐蚀和设备故障。通过采集系统中的气体样本，使用水含量分析仪器对气体中的水分含量进行检测，确保水分含量在允许的范围内。

这五项测试是特种气体系统质量控制的重要手段，在半导体等制造和科研产业中广泛应用，以确保系统的安全性、稳定性和可靠性。

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