GB/T4844-2011 纯氦、高纯氦和超纯氦
GB/T 16943-2009电子工业用气体 氦
GB/T 28123-2011工业氦
GB/T4844-2011 纯氦、高纯氦和超纯氦技术指标
项目 | 指标 |
纯氦 | 高纯氦 | 超纯氦 |
氦气（He）纯度（体积分数）/10-2 | ≥ | 99.99 | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
氖气（Ne）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 40 | 15 | 4 | 1 |
氢气（H2）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 7 | 3 | 1 | 0.1 |
（氧气（O2）+氩（Ar））含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 5 | 3 | 1 | 0.1 |
氮气（N2）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 25 | 10 | 2 | 0.1 |
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
甲烷（CH4）含量（体积分数）/10-2 | ＜ | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
水分（H2O）含量（体积分数）/10-2 | ＜ | 20 | 10 | 3 | 0.2 |
总杂质含量（体积分数）/10-2 | ≤ | 100 | 50 | 10 | 1 |
GB/T 16943-2009电子工业用气体 氦技术指标
项目 | 指标 |
氦气（He）纯度（体积分数）/10-2 | ≥ | 99.9999 | 99.9995 |
一氧化碳（CO）和二氧化碳（CO2）总含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 一氧化碳：0.1 | 1 |
二氧化碳：0.1 |
氮（N2）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 0.5 | 2 |
氧（O2）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 0.2 | 0.5 |
总烃（以甲烷计）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 0.1 | 0.5 |
水分（H2O）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | 0.2 | 0.5 |
杂质总含量（体积分数）/10-6 | ≤ | 1 | 5 |
颗粒 |
| 供需双方商定 | 供需双方商定 |
液态氦的水分应气化后测定。 |
GB/T 28123-2011工业氦技术指标
项目 | 指标 |
氦气纯度（体积分数）/10-2 | ≥ | 97.5 | 99 |
总杂质（氖+氢、氧+氩、氮、甲烷）含量（体积分数）/10-2 | ≤ | 2.5 | 1 |
水分露点/℃ | ≤ | -50 | -50 |